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探针材料：氮化硅；针尖形状：球形；微球材料：二氧化硅或 微球直径：2微米至18微米；背面涂层：有

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● 相对大的实验区域； ● 增加了薄膜的弹性； ● 孔的尺寸适合实验要求； ● 薄膜边缘有25μm宽度是无孔的；

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